*****************************电子科学与工程学院反应离子刻蚀机采购项目（SEU-ZB-**）招标公告
发布时间：**-**-** **:**:**阅读量： ** 次
*****************************电子科学与工程学院反应离子刻蚀机采购项目招标公告
*****************************电子科学与工程学院反应离子刻蚀机采购项目的潜在投标人应在
微信公众号
“苏美达达天下”
获取招标文件，并于
**
年
**
月
**
日
**
点
**
分（北京时间）前递交投
标文件。
一、项目基本情况
项目编号：
**-**SUMECZF**
（
SEU-ZB-**
）
项目名称：
*****************************电子科学与工程学院反应离子刻蚀机采购
预算金额：
**
万元
最高限价：
**
**
**
万元
（境内外产品最高限价均为此限价，其中境外产品不含外贸代理
费），超过最高限价的为无效投标文件
采购需求：
**
、兼容
**
英寸及以下尺寸的晶圆片和不规则碎片；不同尺寸样片之间的切
换、无需反应腔室的开腔破真空；反应腔室由整块铝锭加工制成、无焊缝、低漏率，真空
漏率≤
**E-** mbar·l/s
；腔壁可加热，反应腔内径≥
** mm
。
**
、下电极为铝制电极，由射频源驱动；电极冷却：水冷，配置有循环冷却器，温度控
制范围不小于
+**
到
+**°C
。
**
、配置激光终点原位检测装置，激光终点检测波长≥
** nm
，测量速度≤
**
秒，带
X-Y
电动位移，行程范围≥
** mm × ** mm
；配置光发射谱（
OES
）终点检测装置，
OES
终
点检测装置光谱范围≥
**-** nm
，配置≥
**
像素的
CMOS
探测器。
合同履行期限：
境外产品：开具信用证后
**
天内设备安装调试合格。
境内产品：合同签订后
**
天内设备安装调试合格。
本项目不接受联合体投标。
本项目接受进口产品。
本项目所属行业：工业。
本项目
(
非专
门
)
面向
中小
企
业采购。
本项目
(
非专
门
)
面向监狱企
业采购。
本项目
(
非专
门
)
面向残疾
人
福利性单
位采购。
二
、
申请
人的
资
格
要
求：
**
.
满足《
中
华
人
民共
和
国政府
采购
法》第二十二条
规
定
：
（
**
）具有
独立承担民事责任
的
能力
（
提供法
人
或者
其
他组织
的
营
业
执照
，
自然
人的
身
份
证
明
）；
（
**
）具有
良好
的
商
业信
誉
和
健全
的
财务会计
制度（
提供参
加本
次政府
采购
活
动前
半
年
内（
至少
一
个
月）的
会计报表
（
至少包
含
资
产
负债表
及
利润表
）
或者
**
年度
或
**
年
度的
财务审计报
告，
成
立
不
足
一年的
提供
开标前
六个
月内的
银
行
资
信证
明
原件。
）；
（
**
）具有履行合同所
必
需的设备和专业
技术能力
，
提供
证
明材料或承诺函
；
（
**
）有
依法缴纳税收
和
社会保障资
金的
良好记录
，
提供纳税凭据复印
件加
盖
公
章
。
（
依法免税
的应
提供相
应文件
说明
）、
依法缴纳社会保障资
金的
凭据复印
件（
凭据
可以
是
缴
费的
银
行
单据
、专用
收据
、
社会保险缴纳清单或者
所在
社保
机
构
开具的证
明等
，
依法
不
需
要缴纳社会保障资
金的应
提供相
应文件
说明
）；
（
**
）
参
加
政府
采购
活
动前
三
年内（成
立
时间不
足三
年的、
自
成
立
时间
起
），在
经营活
动中
没
有
重
大
违法记录
（
提供参
加本
次政府
采购
活
动前
**
年内在
经营活
动中
没
有
重
大
违法
记录
的
书面声明
，
重
大
违法记录是指供
应
商因违法经营
受到
刑事处罚或责令停
产
停
业、
吊
销许
可证
或者执照
、
较
大
数
额
罚款等
行
政处罚
）。
（
**
）
法律
、行
政法
规规
定
的其
他条
件。
**
.
落实政府
采购
政策
需
满足
的
资
格
要
求：
无
**
.
本项目的
特定资
格
要
求：
（
**
）
如
为进口产品，需
提供
有效的产品
授权书
。
**
.
拒绝
下
述供
应
商参
加本
次
采购
活
动：
（
**
）
供
应
商单
位
负责
人为同一人
或者存
在
直
接控
股
、
管
理
关系
的不同
供
应
商
，不
得参
加同一合同项下的
政府
采购
活
动。
（
**
）
凡
为采购项目
提供
整体设
计
、规范编制
或者
项目
管
理、
监
理、检测
等服务
的
供
应
商
，不
得再参
加本项目的采购
活
动。
（
**
）
供
应
商被
“信用中
国
”
网站
（
www.c
r
editchi
na
.gov.c
n
）、“中
国政府
采购
网
"
(
www.ccgp.gov.c
n
)
列入失
信
被执
行人、
税收违法黑
名
单
、
政府
采购
严重违法失
信行为
记录
名
单
。
三
、获取招标文件
**
、时间：
**
年
**
月
**
日
至
**
年
**
月
**
日，
每
天
上午
**
：
**
至
**
：
**
，下
午
**
:
**
至
**
:
**
（北京时间，
法定节假
日
除
外）
**
、
地
点：本项目
仅
接受
在
线
获取招标文件。
**
、
方式
：在
线
获取
**
、
招标文件获取
：
每套
**
**
元
**
、在
线
获取采购文件
操作流
程
如
下：
（
**
）用微信
关注我司
公众号“苏美达达天下”。
（
**
）进
入
公众号
-“
在
线服务
”
-“
在
线
购标”。
（
**
）
输入
本项目的项目编号
:
**-**SUMECZF**
，点
击查询
。
添
加
您
所
要
获取的采
购文件到购
物车
，
输入
投标
单
位名称、
领
购人信
息
以及发
票
信
息
，
提
交订
单
并
确认
微信
支
付
，
支付完
成后，
经确认
信
息
无
误
后采购文件电子
版将
发
送至领
购人
邮箱
。
注意事
项：
（
**
）
确保领
购人
邮箱
真
实准确
无
误
，电子
版
采购文件
将
发
送
到此
邮箱
。
（
**
）采购文件发
票仅提供增值税
（电子）发
票
，开
出
后发
送至领
购人
邮箱
。
（
**
）“苏美达达天下”
付款平台填写
的投标
单
位名称
必须
与开
票
信
息
一
致
。
如
不一
致
投标人
自
行
承担
后
果
。
请认
真
填写领
购人信
息
及发
票
信
息
。
（
**
）非采购代理机
构或平台
公
司
原
因
，采购文件发
票
一
经
开具不
予退
换，
请谨慎填写
。
四
、
提
交投标文件
截止
时间、开标时间和
地
点
**
、投标
截止
时间：
**
年
**
月
**
日
**
点
**
分（北京时间）
**
、开标时间：
**
年
**
月
**
日
**
点
**
分（北京时间）
**
、
开标
地
点：南京
市
长
江路
**
号苏美达大
厦辅楼
**
会议
室
五
、公告期限
自
本公告发
布
之日
起
**
个
工
作
日。
六
、其
他补充事宜
无。
七
、
对
本
次
招标
提出询问
，
请按
以下
方式
联
系
。
**
.
采购人信
息
名 称：*****************************
地
址
：南京
市玄
武区
四
牌
楼
**
号
技术
咨
询
：电子科学与工程学院：温
老师
电
话
：
**
；
实
验
室与设备
管
理
处
：
刘
老师
电
话
：
**-**
**
.
采购代理机
构
信
息
名 称：苏美达
国
际
技术
贸
易
有限公
司
地
址
：南京
市
长
江路
**
号苏美达大
厦
**F
联
系方式
：
**-**
**
.
项目联
系方式
项目联
系
人：
*******
、
*******
电
话
：
**-**
、
**-**
**
附件下载：
贵公网安备52011502001601号