采购单位:	*****************************
项目名称:	教学线器件图形化结构制作设备
预算金额（元）:	,,.
采购品目:	其他仪器仪表
采购需求概况:	、接触式双面光刻机 . 曝光面积：英寸； . 光源：紫外LED，曝光波长：nm：-mW/cm； . 分辨率：um；对准精度：±.um（双面，片厚.mm）±.um（单面）、洁净烘箱 . 容积（L）：LX双腔体； . 温度：RT ～ ℃多段程序控制。、匀胶烘胶一体机 . 集成匀胶机及可编程热板一体化设备； . 匀胶机样品尺寸支持英寸（mm）圆晶及以下尺寸或碎片。含碎片、英寸、英寸、英寸、碎片托盘各一个； . 转速范围：-RPM，转速精度及重复性：±RPM；单步转动时间设置范围：-S，旋转时间分辨率：S； . 热板可编程，样品尺寸：为英寸（mm）圆晶及以下尺寸或碎片；控制温度：室温-℃。、显影烘胶一体机 . 集成显影机及可编程热板一体化设备； . 显影机样品尺寸：支持英寸（mm）圆晶及以下尺寸或碎片，含碎片、英寸、英寸、英寸铝合金托盘各一个； . 转速范围：-RPM，转速精度及重复性：±RPM；单步转动时间设置范围：-S，旋转时间分辨率：S； . 自动显影：路显影液供给管路，路DIW供给，路N； . 可编程热板样品尺寸：为英寸（mm）圆晶及以下尺寸或碎片；控制温度：室温-℃，温度均匀性：±.℃@mm范围。、有机清洗台 . 超声槽槽体材质：内槽：石英；外槽：SUS；管件材质：PFA/CPVC；溶液温度：RT-±℃； . QDR槽槽体材质：聚丙烯（NPP）；管件材质：PFA/CPVC；溶液温度：RT； . 水洗槽槽体材质：聚丙烯（NPP）；管件材质：PFA/CPVC；溶液温度：RT；、冷藏柜 . 体积大于L； . 温控范围-度，带高温报警系统。、氮气柜 . 控湿范围：%RH～%RH 全自动； . 体积≥L。、双腔甩干机 . 两个甩干腔室,个寸旋转台，个寸旋转台； . 转速可设置范围：-RPM；时间可设置范围：***秒； . 基片适用范围：mm-mm。、感应耦合等离子体刻蚀机 . 样片尺寸：英寸样品台，兼容英寸及以下尺寸样品刻蚀； . 本底真空：工艺腔本底真空≤.×-Pa； . 气路系统：配置路工艺气体（Cl、BCL、SF或CF、CHF、O、Ar）路背He； . 电源系统：w射频功率源，自动匹配；不小于W偏压源，自动匹配； . 工艺指标：刻蚀速率Si≥nm/min；刻蚀不均匀性≤±%@英寸（EE-mm）。、去胶机 . 样片尺寸：英寸样品及向下兼容； . 真空系统：极限真空＜Pa； . 气路系统：标配路进气O和Ar； . 电源系统：w@.MHz射频功率源。、湿法腐蚀台 . 样品尺寸，寸/篮/批； . 号槽为铝刻蚀槽，号槽为铬刻蚀槽，号槽为BOE槽， //槽为QDR槽；槽体材质//槽为聚偏氟乙烯（PVDF）, //槽为聚丙烯（NPP）； . 温度控制：号槽独立温控器，溶液温度为-℃±.℃，加热/冷却方式为恒温机；号槽独立温控器，溶液温度为RT-±℃。
联系人:	宋惠雪
联系电话:	-
预计采购时间:	-
备注:	无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准